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恭喜!頂級光刻機,進入中國!3月30日,積塔半導體在上海臨港舉行300mm車規半導體集成電路制造基地設備入場開工儀式,ASML光刻機入場。 圖片 此次積塔半導體12英寸車規半導體生產基地入場的光刻機或為干式DUV光刻系統I-line、ArF系列。TWINSCAN XT:400L是ASML最新的i-line系統,分辨率低至220nm,適用于200mm和300mm晶圓生產。 TWINSCAN NXT:1470雙級ArF系統,可以打印分辨率低至220nm的圖案,被大多數邏輯和存儲器客戶

2024-06-28 15:32
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3月30日,積塔半導體在上海臨港舉行300mm車規半導體集成電路制造基地設備入場開工儀式,ASML光刻機入場。


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此次積塔半導體12英寸車規半導體生產基地入場的光刻機或為干式DUV光刻系統I-line、ArF系列。TWINSCAN XT:400L是ASML最新的i-line系統,分辨率低至220nm,適用于200mm和300mm晶圓生產。


TWINSCAN NXT:1470雙級ArF系統,可以打印分辨率低至220nm的圖案,被大多數邏輯和存儲器客戶所采用,并已被插入到大批量制造工藝中,用于200mm和300mm晶圓生產,實現每小時330個晶圓的生產率。


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積塔半導體于2017年在上海臨港注冊成立,專注于半導體集成電路芯片特色工藝的研發和生產制造,已建成具有自主知識產權的電源管理芯片(PMIC)、控制器(Controller)、功率器件(IGBT、SGT、FRD、TVS等)、碳化硅器件(JBS、MOSFET)、微機電系統(MEMS)等特色工藝平臺,產品廣泛服務于汽車電子、工業控制、電源管理、智能終端,乃至軌道交通、智能電網等高端應用市場。


產能方面,積塔半導體目前在上海臨港新片區和徐匯區建有兩個廠區,已建和在建產能共計30萬片/月(折合8吋計算),其中6吋7萬片/月、8吋11萬片/月、12吋5萬片/月、碳化硅3萬片/月,為功率器件、汽車電子等核心芯片提供服務。


同時,積塔半導體也專注于功率模組及車規級芯片創芯整合發展,在2023年期間先后與華大九天、吉利科技達成合作,作為大股東的華大九天持股比例達到了約37.6%。此外,在融資方面,積塔半導體已先后完成5輪融資